永磁鐵低溫探針台PSM-PM系列
PSM-PM系列永磁鐵低溫探針台是一款專門針對低溫垂直磁場電測環境開發的探針台，给予0.5T垂直磁場，能夠對2寸、4寸、晶圓片進行重複性的、標準的電學實驗，外接不同的測試設備可以完成對器件的電學特性測量、參數測量、DC測量、RF測量和霍爾測量。永磁鐵低溫探針台PSM-PM系列，具體參數請諮詢客服！
產品中心
PRODUCT CENTER
永磁鐵低溫探針台PSM-PM系列產品概述
隨着電子技術的不斷开展，對於精密微小（納米級）的微電子器件，要去測試它在低溫環境或者變溫環境下的的電學性能（如電流、電壓、阻抗等）時，配有顯微鏡的低溫探針台能夠给予良好的低溫電測環境。
永磁鐵低溫探針台在科學研究和技術開發中發揮着至關重要的作用。它能夠在低溫環境下對樣品進行各種非破壞性的物理性能和電學性能測試，幫助研究人員深入分析材料或者器件的各種物理性能和電學性能，從而為新材料的研發和應用给予重要的數據支持。
PSM-PM系列永磁鐵低溫探針台是一款專門針對低溫垂直磁場電測環境開發的探針台，给予0.5T垂直磁場，能夠對2寸、4寸、晶圓片進行重複性的、標準的電學實驗，外接不同的測試設備可以完成對器件的電學特性測量、參數測量、DC測量、RF測量和霍爾測量。
永磁鐵低溫探針台PSM-PM系列技術參數
參數和指標：
| 探針台主機分類 | ||||
| 型號 | PSM-PM-2 | PSM-PM-2H | ||
| 溫度範圍 | 80K--500K | 80K--800K | ||
| 控溫穩定性 | +/-50mK | +/-100mk | ||
| 樣品座 | ||||
| 類型及材料 | 無氧銅接地鍍金樣品座 | 無氧銅接地樣品座 | ||
| 尺寸 | 2寸 | 2寸 | ||
| 可選規格 | 絕緣樣品座 （溫度只能到400K） 同軸樣品座 （溫度只能到400K） 三同軸樣品座（溫度只能到400K） | |||
| 探針臂 | ||||
| 類型 | 直流探針臂 | |||
| 數量 | 4 | |||
| 接頭及電纜 | 三同軸接頭+極細同軸低溫電纜 | |||
| 漏電流 | 100fA@1V 真空環境中 | |||
| 信號頻率 | DC--50MHz | |||
| 匹配阻抗 | 50歐姆 | |||
| 位移範圍 | Z +/-6.5mm R+/-10° X+/- 50mm,Y+/- 12.5mm | |||
| 光學系統 | ||||
| 顯微鏡放大倍數 | 10--180倍 | |||
| 解像度 | 3微米 | |||
| 視場 | 22mm | |||
| 工作距離 | 90--100mm | |||
| 真空腔 | ||||
| 材料 | 鋁合金 | |||
| 腔體容積 | 4L | |||
| 整體尺寸 | 800*800*600 | |||
| 腔體內徑 | 124mm | |||
| 視窗尺寸 | 0mm | |||
| 真空腔體窗口 | 紅外吸收窗口 | |||
| 防輻射屏窗口 | N/A | 標準石英窗口 | ||
| 真空度 | 5*10E-4 torr | |||
| 預留接口 | 2個探針臂接口&2個電學接口 | |||
| 防輻射屏材料 | N/A | 不鏽鋼 | ||
| 液氮腔體 | ||||
| 液氮容量 | 0.5L | |||
| 冷卻時間 | 60分鐘到80K | |||
| 液氮消耗量 | 0.2L從室溫到80K | |||
| 液氮保持時間 | 4小時@80K | |||
| 滑台 | ||||
| X-Y移動行程 | 2/4寸:X-Y軸±50mm | |||
| 讀數精度 | 10μm | |||
| 永磁鐵組件 | ||||
| 磁場大小 | 0.5T | |||
| 磁鐵間距 | 30mm | |||
| 磁鐵極面尺寸 | 50mm | |||
| 專用振動隔離桌 | ||||
| 尺寸 | 800*800*800 | 900*900*800 | ||
| 桌推 | 固定腳&滾輪 | |||
