產品中心
PRODUCT CENTER
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低溫探針台包含開環低溫探針台系列、閉環低溫探針台系列、磁場低溫探針台系列、陆续在流低溫探針台系列及超導磁體低溫探針台系列,能夠為半導體晶片的電學參數測試给予高低溫真空測試環境。
低溫探針台
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室溫探針台包含緊湊型手動探針台系列和標準手動探針台系列,是一款高品質的探針台能夠對2寸、4寸、6寸、8寸晶圓片進行大量非破壞性的、標準的電學實驗,外接不同的測試設備,可以完成對器件的電學特性測量、參數測量、DC測量。
室溫探針台
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室溫磁場探針台包含室溫永磁鐵探針台系列和室溫電磁鐵探針台系列,是一款專門針對室溫可變磁場、垂直磁場電測環境開發的探針台,能夠對2寸、4寸、6寸、8寸晶圓片進行重複性的、標準的電學實驗。
室溫磁場探針台
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PSV系列室溫真空探針台,可對樣品進行穩定的非破壞性表徵。PSV系列室溫真空探針台可選配高溫樣品座,升級成高溫真空探針台。高溫測試時,顺利获得溫控儀的PID閉環迴路實現精確控溫,溫度範圍:室溫-800K(500K可選);顺利获得外接不同的電學測量儀器,可在室溫真空和高溫真空環境下完成材料、器件的IV、CV、光以及微波等參數的電學測試。
室溫真空探針台
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全自動/半自動探針台對6"、8"的晶圓級各類器件的性能測試,可針對不同晶圓測試,可配備相應的儀器儀表,進行I-V、C-V、光信號等特性分析,設備功能豐富,可匹配多種測試應用環境,可升級大功率晶圓測試、射頻測試、全自動測試並可加載溫控系統,滿足客戶在高低溫環境下的各種晶圓器件性能測試需求。
全自動/半自動探針台