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超導磁體低溫探針台 PSM-SM系列

超導磁體低溫探針台 PSM-SM系列

低溫強磁綜合探針台完全無液氦工作,採用閉循環制冷機進行製冷,顺利获得溫控儀的PID閉環迴路實現精確控溫,多種磁場強度可選。在電學信號上,配備高精度探針和光學顯微鏡,可以非常簡單的顺利获得調節探針臂扎針的方式,自由切換樣品上的不同器件,顺利获得外接不同的測量儀表或自有選件模塊,該探針台可完成材料、 器件的IV、CV及微波等低溫強磁下的各類電參數的非破壞性電學測試,大大提高了科研人員在探究微納器件或材料物性機理研究時的效率和便利性。

超導磁體低溫探針台 PSM-SM系列產品概述

低溫強磁綜合探針台在光學兼容性及功能擴展性方面表現卓越,高精度光學適配,多維度光路接入,可顺利获得頂窗和側窗結構設計,靈活引入不同角度的入射光,滿足複雜光學測試需求。
低溫強磁綜合探針台擁有極為靈活的配置,為滿足不同科研及測試需求,给予了豐富多樣的擴展模塊, 助力實現多種綜合測量。常規擴展選件有:基礎顯微鏡光學選件、光電流測試選件、磁光克爾測試選件、拉曼選件、 基礎材料電學測量選件、微納器件測試選件、霍爾效應測量選件、SOT測量選件等。
低溫強磁綜合探針台集成了高磁場、寬溫區和閉環製冷、低振動技術等卓越特性,一套PSM-SM系統即可能夠實現電 - 光 - 磁 - 溫多模態的原位測量,滿足MEMS等器件跨尺度表徵的需求,是實驗室召开多物理場耦合測試的理想選擇。

產品特點:

- 超低溫,強磁場
• 採用閉循環製冷,無需消耗液氦,降低實驗成本
• 溫度範圍:2K~300K(無探針臂),支持全溫區陆续在精確控溫。寬溫區能夠模擬多種極端與常規的溫度環境,滿足不同材料在各種溫度條件下的特性科研需求
• 採用高性能超導磁體,實現最高7T磁場強度(3T,3-1-1T矢量可選),顯著提升磁場豐富性


低振動

• 滿足振動敏感測量:獨特的減震技術,雙極波紋管平衡結構,實現超低震動;標準系統振動(RMS)小於500nm,安裝低振動選件後,系統振動(RMS)小於50nm


- 探針測試方便快捷
• 樣品腔採用全屏蔽設計,能夠有效減小外界的電磁干擾提高測試的精準度和穩定性
• 探針臂的位移調節在真空腔外操作,獨特的探針臂 X-Y-Z調節,可以在不破壞真空的情況下,切換樣品上的不同器件進行測試。
• 直流臂採用三同軸接頭,漏電性能好,漏電流小於100fA
• 微波臂支持到110GHz,可滿足不同類型的微波測試需求
• 系統可安裝6個探針臂(直流、微波、光纖可選),可以根據實驗需求,靈活搭配,實現對樣品多種測試需求,獲取更全面的實驗數據


- 樣品空間大
• 樣品座尺寸35mm,探針可探測區域1英寸
• 可對薄膜、塊體、粉末和液體等各類樣品進行測試,给予多種樣品座可供選擇,包括光學樣品座、粉末樣品座、液體樣品座以及多電極樣品座等
• 樣品可以水平或垂直於磁場,方便研究不同磁場特性
• 高精度樣品定位:可選XYZR壓電位移台實現器件的精準定位
• 預置電學接口:系統預置20根同軸電纜,用於傳輸電信號,低溫端採用FPC 接頭通斷,能夠適應低溫環境下的使用要求。


- 兼容性和擴展性強
• 高精度光學兼容:15mm工作距離,支持50x物鏡配套使用,便於微觀樣品的觀察和光信號耦合測試。
• 给予多種材料的側面光窗和頂部光窗,方便將各方向的光路引入樣品腔。樣品腔周圍可搭建各種光學光路,靈活實現各種光學測量
• 给予多種測試選件:納米量級顯微鏡光學選件、光電流測試選件、磁光克爾測試選件、拉曼選件、基本電學測量選件、微納器件電學測試選件、霍爾效應測量選件、SOT 測量選件等,全新方案設計,给予低溫強磁環境下材料的光信號和電信號測量的全套解決方案
• 集成智能化控制軟件,操作簡單,方便數據的記錄和導出

超導磁體低溫探針台 PSM-SM系列技術參數

技術參數:




可選配件