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HSPM-05PS室溫探針台霍爾測試系統可以為精密微小（納米級）的微電子器件给予一個固定磁場的測試環境，顺利获得顯微鏡將被測樣品放大，用高精度微探針進行扎針，外部連接霍爾測量儀可進行霍爾測試和分析。 

HSPM-05PS室溫探針霍爾測試系統為8英寸待測樣品、器件给予了一個垂直磁場環境。外部連接其他電測儀表可在室溫下對晶片、晶圓和器件進行非破壞電學測試，比如不同磁場下電流、電壓、電阻等電學信號等。

系統特點：

•穩定的雙位移調節系統，可以調節樣品座和探針臂的位移 
•樣品座可以放置8英寸的晶圓樣品，採用多孔分區控制氣體吸附固定。 
•能自動控制永磁鐵的前後運動和N.S極翻轉，並且能精準定位，磁場大小0.5T 
•可安裝6個探針臂 
•探針臂採用磁鐵吸附，可任意移動，並且可以三維微調操作方便，扎針精準，四個探針臂的探針可以扎到樣品的任意位置。 
•探針臂採用三同軸線纜和三同軸接頭，漏電流小，在100fA以內 
•CCD放大倍數為180倍，工作距離為100mm

測試材料：

• 熱電材料：碲化鉍、碲化鉛、矽鍺合金等
• 光伏材料/太陽能電池：（A矽（單晶矽、非晶矽）、CIGS（銅銦鎵硒）、碲化鎘、鈣鈦礦等）
• 有機材料：（OFET、OLED）
• 透明導電金屬氧化物TCO：（ITO、AZO、ZnO、IGZO（銦鎵鋅氧化物）等）
• 半導體材料：SiGe、InAs、SiC、InGaAs、GaN、SiC、InP、ZnO、Ga2O3等
• 二維材料：石墨烯、BN、MoS2等

參數和指標：