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HX8N0系列全自動探針台

HX8N0系列全自動探針台

HX8N0系列全自動探針台設備專業應對8寸的晶圓級各類器件的性能測試,可針對不同晶圓測試,可配備相應的儀器儀表,進行I-V、C-V、光信號等特性分析,設備功能豐富,可匹配多種測試應用環境,可升級大功率晶圓測試、射頻測試、全自動測試並可加載溫控系統,滿足客戶在高低溫環境下的各種晶圓器件性能測試需求。

HX8N0系列全自動探針台產品概述

  HX8N0系列全自動探針台設備專業應對8寸的晶圓級各類器件的性能測試,可針對不同晶圓測試,可配備相應的儀器儀表,進行I-V、C-V、光信號等特性分析,設備功能豐富,可匹配多種測試應用環境,可升級大功率晶圓測試、射頻測試、全自動測試並可加載溫控系統,滿足客戶在高低溫環境下的各種晶圓器件性能測試需求。


產品特點
• 節省空間;
• 全閉環直線電機運動控制;
• 高精度和測試速度,大大提高測試效率;
• 滿足高壓大電流測試;
• 可升級自動wafer厚度測量和ID讀卡。

軟件功能介紹
• 可測試圓片,測試範圍可選,支持隔行抽測和環形測試,MAP圖可以編輯測試;
• 支持壞點重測;
• 具備離線打點、同步打點功能;
• 具備接觸緩衝功能,針痕穩定;
• 運行反饋功能,保證測試的穩定性;
• 測試良率、總數、速度顯示;
• CCD圖像自動對準定位;
• CCD自動對針功能;
• 具有自動清針和磨針功能;
• 具備一定的抗干擾能力;
• 多BIN分類測試,測試數據可以存儲,可以導出,兼容後道設備格式使用,具有數據統計分析功能;
• 操作員,管理員,系統廠家權限管理功能;
• 支持TTL、232、GPIB等通用協議。

HX8N0系列全自動探針台技術參數

參數和指標:

性能
技術
可測試晶圓尺寸
8寸
工作枱行程
220mm×220mm
控制精度
≤0.001mm
全程精度
≤±0.02mm/200mm
Z向行程
15mm(可調)
θ向可調範圍
±15°
轉載晶舟
標準晶舟
真空度
>-0.08MP
電源
AC220V 50Hz,1KW

可選配件