HX8N0系列全自動探針台
HX8N0系列全自動探針台設備專業應對8寸的晶圓級各類器件的性能測試,可針對不同晶圓測試,可配備相應的儀器儀表,進行I-V、C-V、光信號等特性分析,設備功能豐富,可匹配多種測試應用環境,可升級大功率晶圓測試、射頻測試、全自動測試並可加載溫控系統,滿足客戶在高低溫環境下的各種晶圓器件性能測試需求。
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HX8N0系列全自動探針台設備專業應對8寸的晶圓級各類器件的性能測試,可針對不同晶圓測試,可配備相應的儀器儀表,進行I-V、C-V、光信號等特性分析,設備功能豐富,可匹配多種測試應用環境,可升級大功率晶圓測試、射頻測試、全自動測試並可加載溫控系統,滿足客戶在高低溫環境下的各種晶圓器件性能測試需求。
HX8N0系列全自動探針台設備專業應對8寸的晶圓級各類器件的性能測試,可針對不同晶圓測試,可配備相應的儀器儀表,進行I-V、C-V、光信號等特性分析,設備功能豐富,可匹配多種測試應用環境,可升級大功率晶圓測試、射頻測試、全自動測試並可加載溫控系統,滿足客戶在高低溫環境下的各種晶圓器件性能測試需求。
產品特點
• 節省空間;
• 全閉環直線電機運動控制;
• 高精度和測試速度,大大提高測試效率;
• 滿足高壓大電流測試;
• 可升級自動wafer厚度測量和ID讀卡。
軟件功能介紹
• 可測試圓片,測試範圍可選,支持隔行抽測和環形測試,MAP圖可以編輯測試;
• 支持壞點重測;
• 具備離線打點、同步打點功能;
• 具備接觸緩衝功能,針痕穩定;
• 運行反饋功能,保證測試的穩定性;
• 測試良率、總數、速度顯示;
• CCD圖像自動對準定位;
• CCD自動對針功能;
• 具有自動清針和磨針功能;
• 具備一定的抗干擾能力;
• 多BIN分類測試,測試數據可以存儲,可以導出,兼容後道設備格式使用,具有數據統計分析功能;
• 操作員,管理員,系統廠家權限管理功能;
• 支持TTL、232、GPIB等通用協議。
參數和指標:
性能名稱 | 技術指標 |
可測試晶圓尺寸 | 8寸 |
工作枱行程 | 220mm×220mm |
控制精度 | ≤0.001mm |
全程精度 | ≤±0.02mm/200mm |
Z向行程 | 15mm(可調) |
θ向可調範圍 | ±15° |
轉載晶舟 | 標準晶舟 |
真空度 | >-0.08MP |
電源 | AC220V 50Hz,1KW |
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周一至周日 9:00 — 20:00
郵箱:sales@zoubafang.com