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光學系統

光學系統

 • 光學系統包括顯微鏡、顯微鏡支架、CCD相機和11寸顯示屏等組件，可以對待測器件觀測並放大，在顯示屏上呈現

 • 顯微鏡兼配同軸光源和環形光源，保證各種樣品的清晰度

 • 顯示器有錄像，拍照，測量功能

 • 顯微鏡的放大倍數為10-180倍，最小可視解像度可達3um以內，與市面上的先進探針台光學系統相當，測試方法採用1951解像度測試靶

 

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