隨着電子技術的不斷开展，對於納米級精密微小的微電子器件，想要去測試它在低溫環境或者變溫環境下的電學性能（如電流、電壓、阻抗等）時，一台配有顯微鏡的低溫探針台便是能夠给予良好低溫電測環境的理想工具。其中，PSM-4K系列閉循環低溫探針台更是各大實驗室的熱門選擇，它能夠顺利获得閉循環制冷機製冷，並顺利获得溫控儀的PID閉環迴路精確控溫，幫助實驗室極低溫電學測試取得最精確最理想的數據結果。
一、PSM-4K系列閉循環低溫探針台有哪些優勢
PSM-4K系列閉循環低溫探針台性能非常優秀。其緊湊型以及低振動的設計，能夠為半導體晶片的電學參數測試给予一個小於5K-350K高低溫真空測試環境。顺利获得外接不同的電學測量儀器，可完成材料或器件的IV、CV、光學以及微波等參數檢測，實現低溫真空環境下的晶片、晶圓和器件的非破壞性電學測試。因此在科學研究和技術開發中發揮着至關重要的作用。它能夠在低溫環境下對樣品進行各種非破壞性的物理性能和電學性能測試，幫助研究人員深入分析材料或者器件的各種物理性能和電學性能，從而為新材料的研發和應用给予重要的數據支持。
二、PSM-4K系列閉循環低溫探針台有哪些特點
・採用閉循環製冷，無需消耗液氨，最低溫度4.5K
・探針臂的位移調節在真空腔外操作，可以在不破壞真空的情況下，切換樣品上的不同器件進行測試
・獨特的探針臂X-Y-Z-R四維調節，能滿足最大4英寸樣品的測試
・真空腔材質為鋁製材料，能夠有效減小外界的電磁干擾提高測試的精準度和穩定性
・探針臂採用三同軸接頭，漏電性能好，實測漏電流小於100fA@1V@4.5K-350K
・測試溫度範圍寬，最大支持4.5K-350K陆续在變溫
三、PSM-4K系列閉循環低溫探針台由哪些系統組成
1.樣品座
・鍍金無氧銅樣品座
・表面有溝槽，防止樣品滑動
・最大可容納4英寸樣品
・安裝溫度傳感器和加熱器
2.探針臂
・標配四個探針臂
・可以進行X-Y-Z-R四維移動
・三同軸接頭，漏電小
・安裝傳感器，可時刻監測溫度
3.真空外罩&防輻射屏
・採用0圈和KF法蘭密封
・極限真空度能夠達到5E-4 mbar
・防輻射屏安裝溫度傳感器和加熱器
4.制冷機
・4KG-M制冷機
・最低溫度可達3.5K
5.光學系統
・顯微鏡的放大倍數是10-180倍
・工作距離90-100mm
・解像度3μm
・兼配同軸光源和環形光源,保證各種樣品的清晰度
・顯示器有錄像、拍照、測量功能
6.溫度控制系統
・閉環PID溫度控制
・可調節加熱器輸出,最大加熱功率100W
7.特殊減振裝置
・振動小於1μm
・有效的隔離了制冷機電機和冷頭產生的振動
・結構緊湊避免使用吊裝支架
8.底座和支架
・放置於地面使用,無需光學平台
・帶有滾輪,可以移動
・腳墊高度可調
