電子技術正在飛速的蓬勃开展，其中不乏一些納米級精密微小的微電子器件，而在低溫環境或者變溫環境下去測試它的電學性能（如電流、電壓、阻抗等）時，能给予良好低溫電測環境的這台配有顯微鏡的PSM-PM系列永磁鐵低溫探針台便進入了各大研究院及研究人員的視野之中。
一、PSM-PN系列永磁鐵低溫探針台有哪些優勢
PSM-PM系列永磁鐵低溫探針台是一款專門針對低溫垂直磁場電測環境開發的探針台，给予0.5T垂直磁場，能夠對最大2寸晶圓片進行重複性的、標準的電學實驗，外接不同的測試設備可以完成對器件的電學特性測量、參數測量、DC測量、RF測量和霍爾測量。 它能夠顺利获得顯微鏡和CCD將待測器件放大，用高精度微探針對待測器件進行扎針，再外接電學測試儀表進行測試和分析，在低溫環境下對樣品進行各種非破壞性的物理性能和電學性能測試，幫助研究人員深入分析材料或者器件的各種物理性能和電學性能，從而為新材料的研發和應用给予重要的數據支持在科學研究和技術開發中發揮着至關重要的作用。
二、PSM-PN系列永磁鐵低溫探針台有哪些特點
• 永磁鐵低溫探針台，15分鐘內腔體真空度可達到 10E-4torr，液氮消耗量小,降到最低溫度只需0.2L液氮，使用方便快捷同時兼顧經濟性
• 獨特的探針臂X-Y-Z-R四維調節，能滿足最大2英寸樣品的測試
• 樣品座可以放置最大2英寸的晶圓樣品
• 真空腔材質為鋁製材料，能夠有效減小外界的電磁干擾提高測試的精準度和穩定性
• 探針臂採用三同軸接頭，漏電性能好，實測漏電流小於100fA @1V@80K--800K
• 永磁鐵採用電動滑台控制，可以實現前進後退翻轉運動
• 永磁鐵支架與探針台採用分體隔離支架，在磁體運動時避免振動傳導到樣品上
• 測試溫度範圍寬，最大支持80K-800K陆续在變溫
三、PSM-LN2系列液氮高低溫探針台由哪些系統組成
1.樣品座
• 無氧銅樣品座
• 表面有獨特設計，防止樣品滑動
• 最大可容納2英寸樣品
2.探針
• 直流&射頻探針
• 螺釘固定，更換方便
• 射頻探針頻率高達67GHz
3.直流探針臂
• 標配4個直流探針臂
• 可進行X-Y-Z-R四維移動
• 可進行360度自由旋轉
• 三同軸接頭和低噪聲同軸線
• R軸獨特設計，能滿足2英寸樣品全區域的扎針
4.溫度控制系統
• 閉環PID溫度控制
• 可調節加熱器輸出，最大加熱功率75W
5.真空腔體
• 採用O圈密封，帶2英寸可視範圍石英窗口
• 真空度能夠達到到5E-4torr
6.光學系統
• 顯微鏡的放大倍數是10-180倍
• 解像度3μm
• 兼配同軸光源和環形光源，保證各種樣品的清晰度
• 顯示器有錄像、拍照、測量功能
7.永磁鐵組件
• 给予0.5T固定磁場
• 永磁鐵可XYZ調節，其中X方向可自動移動，高精度定位，行程±150mm
• 自動控制磁鐵N.S極翻轉
• 大極頭永磁鐵，使樣品都置於磁場中心均勻區中
8.振動隔離支架
• 永磁鐵與探針台採用分體隔離支架
• 可滾輪移動
• 尺寸和高度可定製
