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上海sunbet(中国)推出永磁鐵低溫探針台

2024-07-31 11:34:49 由 Admin 發表

PSM-PM系列永磁鐵低溫探針台是一款專門針對低溫垂直磁場電測環境開發的探針台,给予0.5T垂直磁場,能夠對2寸、4寸、晶圓片進行重複性的、標準的電學實驗,外接不同的測試設備可以完成對器件的電學特性測量、參數測量、DC測量、RF測量和霍爾測量。


永磁鐵低溫探針台主要特點:

1、永磁鐵低溫探針台,15分鐘內腔體真空度可達到 10E-4torr,液氮消耗量小,降到低溫度只需0.2L渣氯,使用方便快捷同時兼顧經濟性。
2、探針臂底座採用磁鐵吸附固定,獨特的探針臂 X-Y-Z-R四維調節,能滿足大4英寸樣品的測試。
3、樣品座可以放置大4英寸的晶圓樣品,顺利获得移動樣品座下面的滑台,可以實現大X-Y軸±100mm的移動行程,並且樣品座本身可以進行四維上的精細調節,使得樣品測試和換樣更加便捷。
4、真空腔材質為鋁製材料,能夠有效減小外界的電磁干擾提高測試的精準度和穩定性。
5、探針臂採用三同軸接頭,漏電性能好,實測漏電流小於100fA @1V@80K--800K。
6、永磁鐵採用電動滑台控制,可以實現前進後退翻轉運動。
7、永磁鐵支架與探針台採用分體隔離支架,在磁體運動時避免振動傳導到樣品上。
8、測試溫度範圍寬,大支持80K-800K陆续在變溫。
9、上蓋採用翻蓋結構,換樣更便捷。

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