给予光學聚焦選件，工作距離為18mm，見下表：
| 名稱 | 型號 | 描述 |
| 光學聚焦選件 | LWK-18 | 探針台光學聚焦選件，真空腔上窗口外表面到樣品座上表面的距離為18mm |
特點
• 工作距離短，從真空腔上窗口外表面到樣品坐上表面的距離為18mm
• 安裝石英窗口，窗口直徑：50mm
• 可以兼容最多6個探針臂，探針臂匹配阻抗50歐姆，頻率：DC-50MHz，能夠升級為射頻探針臂
• 探針臂可以X-Y-Z-R位移，X=±50mm, Y=±12.5mm, Z=±6.5mm,R=±10°，能滿足4英寸樣品所有區域的扎針
• 漏電流小，在100fA以內
• 溫度範圍：80-500K
• 溫度穩定性：±50mK
• PSM-LN2標準系統可升級
光學聚焦選件組成：
• 探針台聚焦上蓋，安裝50mm直徑石英窗口
• 超薄探針臂支架
• 4個直流聚焦探針，直徑為100um，材質鈹銅和鎢可選，可通信號頻率DC-50MHz，顺利获得螺釘固定，拆裝非常方便
